תערובת אמוניה – הידרוקסייד – מימן פרוקסייד – מים, בדרך כלל 1:5 – 2:5. זהה ל – SC1 ו – RCA1. תמיסת ניקוי המשמשת בעיקר להסרת חלקיקים מפני השטח, מסוגלת גם לסלק חומר אורגני מפני השטח.תמיסות חזקות עלולות לחרוט / לחספס פני סיליקון. יוצר תחמוצת כימית (פני שטח הידרופיליים) על Si. משתמשים בה בטמפרטורה שבין 40 מעלות צלזיוס ו-70 מעלות צלזיוס.