יונים, המואצים לכיוון פני שטח מוצקים, חודרים למוצקים עד לעומק מסוים (ראה גם טווח מוקרן) הנקבע על ידי האנרגיה של האטומים. משמשים לייצור חומר אילוח, ליצירת שכבות מוסתרות ולשינוי פני שטח מוצקים. השיטה השכיחה ביותר להכנסת חומרי אילוח בייצור מתקדם של מוליכים למחצה.