ייצור גבישים שנעשה באמצעים שך שיקוע אדים כימיים, כלומר על ידי תגובה כימית בפאזה-הגזית שהתוצר שלה הינו מוצק שמיועד לשיקוע על ידי גידול גבישים על המצע החשוף. בדרך כלל מבוצע בטמפרטורות גבוהות מעל 10000C. עם הכנה מתאימה של שטח הפנים ובחירה של מגיבים ניתן להקטין את טמפרטורת תהליך יצירת הגבישים CVD ל – C 5000 או C 6000 .