ראה מונחים נוספים: contaminant
electromigration
|
גורם זיהום מתכתי נפוץ בעיבוד סיליקון.המקור העיקרי : תכשיר ניקוי APM מאט את ההתחמצנות התרמית של סיליקון אם לא מסירים אותו לפני ההתחמצנות משפיע על אמינות התחמוצת.ניתן לגלות ולמדוד על פני Si באמצעות SIMS – TOF.
|
[#5859] נוסף בתאריך 07-08-2006
« המונחים הקודמים
aluminum, conductor, Al
Laser interferometry
autodoping
alternative dielectrics
blank |
|
המונחים הבאים »
ellipsometry
electron
Auger electron
hot electron
ammonia, NH3 |
תגובות (0)
|