(1) מתקן שנועד להחזיק בתוכו תדפיס מוליך למחצה במהלך תהליכים תרמיים. עשוי מחומרים טהורים ביותר ועמידים בפני טמפרטורה כגון דו תחמוצת הצורן מוצכת , קווארץ, פוליגביש Si, או SiC .
(2) מתקן שנועד להכיל חומר מקור במהלך אידוי תרמי, ושמשמש במקביל כמחמם. עשוי מחומר מוליך ביותר ועמיד לטמפרטורה.
הפתקיות שלי (0) 
סימון טקסט 
שלח לחבר 
קשר לכאן 
תגובות (0)
