מים טהורים במיוחד, המשמשים בייצור מוליכים למחצה .נוצרים על ידי סילוק כל היונים של מינרלים מומסים, באמצעות אוסמוזה הפוכה ומערכות חלופת יונים.על מים חסרי יונים להיות נקיים גם מחלקיקים, בקטריה, חומרים אורגניים, וחמצן מומס. טוהר המים חסרי היונים נקבע על בסיס ההתנגדות. ההתנגדות הרצויה היא 18 מגהאוהם.