מטען להתפרקות שיטה המשמשת לקביעת האמינות של תחמוצות שער דלילות במתקני MOS. מתח מופעל על מבנה ה- MOS על מנת ליצור בכוח זרימה מבוקרת של זרם על פני התחמוצת, כלומר להזריק כמות מבוקרת של מטען לתוך התחמוצת. על ידי מדידת הזמן שלאחריו נופל המתח לאפס (מתרחשת התפרקות התחמוצת) וידיעת הזרם המוזרק, מוצאים את המטען הדרוש לפרוק התחמוצת.