|
"הפגזת" פריט מוצק (היעד) באמצעות יונים לא פעילים כימית בעלי אנרגיה גבוהה (לדוגמה – Ar), אשר מוצאים מפלזמה, גורמת לפליטה של האטומים מהיעד, ואלה מוצבים שוב על פני השטח של תת – השכבה אשר מצויה בכוונה בקרבת היעד.
|
[#6147] נוסף בתאריך 07-08-2006
« המונחים הקודמים
filament evaporation
electron beam (e-beam) evaporation
evaporation
field effect
Early effect |
|
המונחים הבאים »
avalanche breakdown
breakdown
breakdown, hard
ramp voltage oxide breakdown, Ebd
breakdown, soft |
תגובות (0)
|