ראה מונחים נוספים: etching, etch
|
תהליך חריטה המבוצע בשלב הגז. עשוי להיות כימי טהור (חריטת פלזמה), פיסי לגמרי ("טחינת" יונים), או שילוב של השנים (חריטת יונים ראקטיבית, RIE).
|
[#6120] נוסף בתאריך 07-08-2006
« המונחים הקודמים
etching, etch
Fowler - Nordheim tunneling [F-N]
direct tunneling
thermal oxidation, thermal oxide
dry oxidation |
|
המונחים הבאים »
wet etching
buffered oxide etch, BEO
exposure
capture cross-section
flip chip technology |
תגובות (0)
|