ראה מונחים דומים: extreme UV [EUV] מונחון: מוליכים למחצה
|
קרינת UV קצרה ביותר (כ- 130 ננומטר) שנקראת גם "קרני רנטגן רכות" משמשת בפוטוליטוגרפיה על גיאומטריות חשופות קטנות ביותר (מתחת ל – 0.1 מיקרון) בניגוד פוטוליטוגרפיה רגילה שבה משמשות עדשות אופטיות לכוון ועיצוב קרן האור, משתמשת פוטוליטוגרפית EUV במראות מדויקות ביותר לאותה המטרה.
|
[#6200] נוסף בתאריך 07-08-2006
« המונחים הקודמים
titanium nitride, TiN
fully depleted SOI, FD SOI
bonded SOI
Ideal MOS
I2L |
|
המונחים הבאים »
high-frequency C-V
deep UV [DUV]
Debye length
diffusion length
channel length |
תגובות (0)
|