ראה מונחים נוספים:
deep UV [DUV]
photolithography, optical lithography
ראה מונחים דומים:
Extreme UV, EUV
מונחון: מוליכים למחצה
|
קרינת UV קצרה ביותר (כ- 130 ננומטר) שנקראת גם "קרני רנטגן רכות". משמשת בפוטוליטוגרפיה על גיאומטריות חשופות קטנות ביותר (מתחת ל – 0.1 מיקרון). בניגוד פוטוליטוגרפיה רגילה שבה משמשות עדשות אופטיות לכוון ועיצוב קרן האור, משתמשת פוטוליטוגרפית EUV במראות מדויקות ביותר לאותה המטרה.
|
[#6192] נוסף בתאריך 07-08-2006
« המונחים הקודמים
titanium nitride, TiN
fully depleted SOI, FD SOI
bonded SOI
Ideal MOS
I2L
|
|
המונחים הבאים »
high-frequency C-V
deep UV [DUV]
Debye length
diffusion length
channel length
|
תגובות (0)
|
הפתקיות שלי (0) 
סימון טקסט 
שלח לחבר 
קשר לכאן 
תגובות (0)
