מצב חומר שאל תוכו מופנים גזים ונוזלים בלחץ גבוה. נוזל סופר-קריטי הוא בעל מאפיינים של גז ונוזל גם יחד. הוא חסר כל מתח פנים בעודו פועל פעילות גומלין עם משטחים קשיחים, ולפיכך יכול לחדור בקלות צורות מצולעות בעלות פאות רבות. הוא בעל צמיגות נמוכה ובדומה לנוזל, ממיס בקלות כמויות גדולות של כימיקלים אחרים. נלקח בחשבון לצורך יישומים בעיבוד המוליכים למחצה כאשר יש צורך בחדירה לצורות גיאומטריות צפופות במיוחד, כמו למשל ניקוי פני שטח ובחירת