|
סילוק (באמצעות נידוף) של חומרים אורגניים (לדוגמה – פוטורסיסט) מתדפיס סיליקון, באמצעות חומר המתחמצן בחוזקה. לדוגמה – נידוף פלזמת חמצן.
|
[#5879] נוסף בתאריך 07-08-2006
« המונחים הקודמים
copper, Cu
Arhenius plot
supercritical fluid
ozonated water
nanometer [nm] |
|
המונחים הבאים »
silicon nitride, Si3N4;
Nitridation
electron mobility
hole mobility
cleaning |
תגובות (0)
|