ראה מונחים נוספים: metallic contaminant
organic contaminant
particle
wet cleaning
supercritical fluid
megasonic agitation, megasonic scrubbing
ozonated water
contaminant
cryogenic aerosol
dry cleaning
hydrogen reduction, H2
ראה מונחים דומים: clear מונחון: מערכות מידע גאוגרפיות
|
תהליך סילוק מזהמים (חלקיקים, מתכות וחומרים אורגניים) מפני השטח של הפרוסה. ניתן ליישום בשימוש בכימיקלים נוזליים (ניקוי רטוב) או בגז (ניקוי יבש).
|
[#5981] נוסף בתאריך 07-08-2006
« המונחים הקודמים
hole mobility
electron mobility
Nitridation
silicon nitride, Si3N4;
ashing |
|
המונחים הבאים »
IMEC clean
cobalt silicide, CoSi2
hybrid clean
Spin cleaning
dry cleaning |
תגובות (0)
|