silicon nitride, Si3N4;
ניטריד, Si3N4

 
חומר לא מוליך עם פער אנרגיה = 5 eV, וצפיפות של 3.0 ~ גרם / ס"מ מעוקב. מסכה (חסם) מעולה נגד התחמצנות של Si. משמש בדרך כלל בייצור מעגלים משולבים מסיליקון, בעיקר בתהליכי LOCOS. אינו משמש במניעת מוליכות שער בשל מימשק לא טוב עם סיליקון והרבה פגמים.

[#6348] נוסף בתאריך 07-08-2006

« המונחים הקודמים
נחושת
copper, Cu
נוזל שטחי
supercritical fluid
נוזל שטחי
ozonated water
 המונחים הבאים »
ניידות בור
hole mobility
ניקוי
cleaning
ניקוי IMEC
IMEC clean

תגובות (0)
שנה » ניווט
דרכונט
גישה לאתר דרכונט
לא מחובר. להתחברות:
דוא"ל:
סיסמה:
שכחתי סיסמה שכחתי סיסמה
משתמש חדש משתמש חדש
 זכור אותי  כן לא
Top10
מבוקשים
חדשים
אחרונים