ראה מונחים נוספים: cleaning
|
תהליך הסרת מזהמים מפני השטח בשלב הגז. מונע על ידי המרת המזהם לתרכובת נדיפה באמצעות ריאקציה כימית, או "השלכתו" מעל פני השטח באמצעות העברת מומנטום, או הרמה במהלך חריטה קלה של פני השטח של המזהם.
|
[#6119] נוסף בתאריך 07-08-2006
« המונחים הקודמים
Spin cleaning
hybrid clean
cobalt silicide, CoSi2
IMEC clean
cleaning |
|
המונחים הבאים »
wet cleaning
Caro clean
surface analysis
endpoint
elevated drain |
תגובות (0)
|