excimer laser
לייזר אקסימר

ראה מונחים נוספים:
ArF excimer laser
ArF excimer laser

 
לייזר כימי. לייזרים שמסוגלים לייצר קרינת UV בעלת אורך גל קצר ביותר (מתחת ל- 200 ננומטר). למשל KrF (248 nm),
ArF 193 nm)), F2 (157 nm) . בעלי קרן אחידה ביותר (אחידות עוצמה על פני קוטר הקרן). מקור נפוץ ל- UV בפוטוליטוגרפיה ברזולוציה גבוהה ביותר

[#6196] נוסף בתאריך 07-08-2006

« המונחים הקודמים
ליטוש
polishing
ליטוש
faceting
ליטוגרפית קו I
i - line lithography
ליטוגרפית קו g
g - line lithography
 המונחים הבאים »
ליתוגרפית קרן אלקטרונים (קרן e)
electron beam (e-beam) lithography [EBL]
מאסף
collector
מגע שער
gate contact

תגובות (0)
שנה » ניווט
דרכונט
גישה לאתר דרכונט
לא מחובר. להתחברות:
דוא"ל:
סיסמה:
שכחתי סיסמה שכחתי סיסמה
משתמש חדש משתמש חדש
 זכור אותי  כן לא
Top10
מבוקשים
חדשים
אחרונים