ראה מונחים נוספים: anneal
ראה מונחים דומים: horizontal furnace מונחון: מוליכים למחצה
|
תנור לעיבוד בטמפרטורה גבוהה של הדפסי מוליכים למחצה, שבו מוצב צינור התהליך בצורה אופקית וההדפסים מוצבים בקערה בצורה אנכית על קצותיהם. משתמש בשיטת העמסה של תומכות שגוזל מקום רב בחדר הנקי. משמש לחמצון תרמי, CVD, ודיפוזיה.
|
[#6242] נוסף בתאריך 07-08-2006
« המונחים הקודמים
damascene
burried oxide, BOX
gate oxide
field oxide [FOX]
fluorinated oxide |
|
המונחים הבאים »
furnace vertical
vertical furnace
megasonic agitation, megasonic scrubbing
Large-Angle-Tilt Implanted Drain [LATID]
slurry |
תגובות (0)
|