ראה מונחים נוספים: cantilever loading
vertical furnace
ראה מונחים דומים: furnace horizontal מונחון: מוליכים למחצה
|
תנור אשר בו שפופרת התהליך מונחת בצורה אופקית, כלומר, במקביל לקרקע. משמש בעיבוד מוליכים למחצה לצורך חימצון, CVD וחישול. אינו טוב כמו תנור אנכי במונחי הכנסת תדפיס הסיליקון האוטומטית ואחידות החום.
|
[#6310] נוסף בתאריך 07-08-2006
« המונחים הקודמים
damascene
burried oxide, BOX
gate oxide
field oxide [FOX]
fluorinated oxide |
|
המונחים הבאים »
furnace vertical
vertical furnace
megasonic agitation, megasonic scrubbing
Large-Angle-Tilt Implanted Drain [LATID]
slurry |
תגובות (0)
|