ראה מונחים נוספים:
|
תהליך אשר בו קוי החיבור המתכתיים מתוארים בחומר דיאלקטרי, לא באמצעות ליטוגרפיה וחריטה, אלא באמצעות יצירת מישוריות כימית – מכנית . בתהליך זה הדפוסים המקושרים מוגדרים תחילה מבחינה ליטוגרפית בשכבה הדיאלקטרית, ואחר כך מונחת מתכת על מנת למלא את החרכים והסדקים שנוצרו. מתכת עודפת מוסרת באמצעות שיוף כימי – מכני (פלנריזציה).
|
[#6049] נוסף בתאריך 07-08-2006
« המונחים הקודמים
burried oxide, BOX
gate oxide
field oxide [FOX]
fluorinated oxide
chemical oxide |
|
המונחים הבאים »
furnace horizontal
horizontal furnace
furnace vertical
vertical furnace
megasonic agitation, megasonic scrubbing |
תגובות (0)
|