ראה מונחים נוספים: horizontal furnace
ראה מונחים דומים: furnace vertical מונחון: מוליכים למחצה
|
תנור אשר בו שפופרת התהליך מונחת בצורה אנכית, כלומר, קערה עם תדפיסי סיליקון נעה למעלה ולמטה. משמש בעיבוד מוליכים למחצה לצורך חימצון, CVD וחישול. עולה על תנור אופקי במונחי פעילות בחדר נקי, ואחידות החום.
|
[#6311] נוסף בתאריך 07-08-2006
« המונחים הקודמים
horizontal furnace
furnace horizontal
damascene
burried oxide, BOX
gate oxide |
|
המונחים הבאים »
megasonic agitation, megasonic scrubbing
Large-Angle-Tilt Implanted Drain [LATID]
slurry
yield
Active Matrix Liquid Crystal Display [AMLCD] |
תגובות (0)
|